MM-405大平台工业显微镜配有大移动范围的载物台、落射照明器、平场无限远长工作距离明暗场物镜、大视野目镜、图像清晰,衬度好。是针对半导体工业、硅片制造业、电子信息产业、冶金工业开发,作为高级工业显微镜使用。可进行明暗场观察、落射偏光、DIC观察,广泛用于工厂、研究机构、高等院校对硅片、电路基板、FPD、精密模具的检测分析。
技术参数:
1.目镜
类别 | 放大倍率 | 视场直径(mm) |
平场大视野目镜 | WF10× | ф25 |
平场大视野目镜 | WF10X(带刻度0.1) | ф20 |
2. 物镜:
平场无限远明暗场物镜 | 数值孔径NA | 工作距离(mm) |
5X | 0.12 | 29.4 |
10X | 0.25 | 16 |
20X | 0.40 | 10.6 |
40X | 0.60 | 5.4 |
3. 三目镜筒:30°铰链式三目(50mm-75mm), 带DIC插孔明暗场五
孔转换器
4. 同轴粗微动调焦机构:微动格值2μm
5. 工作台:双层移动式: 350mm×310mm,移动范围: 250mm×250mm
6.落射照明:带孔径光栏和视场光栏,卤素灯12V/100W,亮度可调节
7. 转换器:五孔定位
8. 滤色片:蓝、绿、中性
9. 偏光装置:检偏镜可360度转动,起偏镜、检偏镜均可移出光路
电脑型(MM-405C):
1.MM-405 主机
2. 适配镜
3. 摄像机
4. 图像采集软件
可选附件:
1. 15X平场大视野目镜
2. 20X平场大视野目镜
3. 50X明暗场物镜
4. 80X明暗场物镜
5. 100X明暗场物镜
6. 高分辨率数码成像系统
7. 二维测量软件
8. 专业金相分析软件